分子泵是一種利用高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子碰撞實(shí)現(xiàn)動(dòng)量傳遞的高真空獲得設(shè)備。其原理基于氣體動(dòng)力學(xué)理論：當(dāng)轉(zhuǎn)子葉片以線速度（通常300-500m/s）超過(guò)氣體分子平均熱運(yùn)動(dòng)速率時(shí)，氣體分子與葉片碰撞后會(huì)獲得定向速度，從而形成從入口到出口的定向流動(dòng)。

現(xiàn)代分子泵多采用復(fù)合式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：

1.渦輪分子泵級(jí)：由多層動(dòng)/靜葉片組成，通過(guò)葉片傾角產(chǎn)生泵送作用，適用于中高真空范圍

2.牽引分子泵級(jí)：在葉片表面開設(shè)溝槽，利用黏滯流態(tài)下的氣體拖曳效應(yīng)，提升低真空段抽氣能力

技術(shù)優(yōu)勢(shì)突出：

-極限真空可達(dá)10^{-7}~10^{-10}mbar

-抽速范圍覆蓋10-2000L/s

-潔凈無(wú)油污染，適合半導(dǎo)體制造

-啟動(dòng)壓力高達(dá)1~10mbar

-對(duì)氫氣等輕質(zhì)氣體抽速顯著

典型應(yīng)用場(chǎng)景：

-集成電路光刻機(jī)真空系統(tǒng)

-電子顯微鏡樣品倉(cāng)真空維持

-航天器熱真空環(huán)境模擬

-高能粒子束流管道

-真空鍍膜設(shè)備工藝腔室

日常維護(hù)需重點(diǎn)關(guān)注軸承潤(rùn)滑狀態(tài)與冷卻系統(tǒng)效能，定期檢查振動(dòng)頻譜可預(yù)判機(jī)械故障。通過(guò)分子泵與低溫泵的復(fù)合使用，可獲得超高真空環(huán)境（<10^{-10}mbar）。

分子泵技術(shù)已成為現(xiàn)代制造業(yè)和前沿科學(xué)研究的真空系統(tǒng)基石，其性能持續(xù)優(yōu)化推動(dòng)著半導(dǎo)體工藝、科技等領(lǐng)域的突破性發(fā)展。