為滿足更高工藝要求（如薄膜沉積、表面分析、精密加工等）或提升現(xiàn)有設備的性能與可靠性，對原有真空系統(tǒng)進行分子泵升級改造是有效的技術手段。本方案旨在將現(xiàn)有系統(tǒng)（可能基于油擴散泵、羅茨泵或早期分子泵）的抽氣單元升級為分子泵及其配套系統(tǒng)。

改造：分子泵升級

*設備：選用渦輪分子泵（TMP）或復合分子泵（如渦輪-牽引復合式）。依據(jù)目標真空度（如≤10^-6Pa或更低）、抽氣速度要求（針對特定氣體，如H2、N2、Ar等）及腔室體積，匹配泵型與規(guī)格。優(yōu)先考慮低振動、低噪音、高可靠性的成熟品牌產(chǎn)品。

*配套設備：

*前級泵：根據(jù)分子泵要求，升級或適配合適抽速和極限真空的干泵（無油旋片泵、螺桿泵、爪式泵）或油封旋片泵（需配油霧過濾器），確保前級壓力穩(wěn)定滿足分子泵工作需求。

*閥門與管路：優(yōu)化真空管路布局，減少流阻。采用大口徑、內(nèi)壁光滑（如電解拋光）的不銹鋼管道。配置高密封性、快速響應的氣動或電動高真空閥、前級閥及旁抽閥（如適用）。

*規(guī)管與控制器：升級真空測量系統(tǒng)，配備覆蓋寬量程（如從大氣至10^-8Pa）的復合規(guī)（皮拉尼+冷陰極/熱陰極），并集成至真空控制器，實現(xiàn)測量、自動順序控制、安全聯(lián)鎖及遠程監(jiān)控。

*冷卻與防護：確保分子泵冷卻系統(tǒng)（水冷或風冷）可靠?？紤]增加防返油閥、分子篩吸附阱等，防止意外返油或污染。

實施要點

1.系統(tǒng)評估：評估現(xiàn)有系統(tǒng)結(jié)構(gòu)（腔室、法蘭標準、布局）、電氣接口、控制系統(tǒng)及目標性能差距。

2.方案設計：詳細設計泵組配置、管路走向、閥門位置、電控接口及控制邏輯（抽氣順序、安全保護）。

3.設備安裝：嚴格按照規(guī)范安裝新泵組、閥門、規(guī)管及管路，確保超高真空密封（法蘭清潔、墊圈選用、擰緊力矩）。

4.電氣與控制系統(tǒng)集成：連接電源、信號線，將新設備集成至現(xiàn)有或新真空控制器中，編程設定控制流程。

5.調(diào)試與測試：進行嚴格的檢漏（氦質(zhì)譜檢漏儀）、烘烤除氣（如需要）、極限真空測試、抽速測試及安全功能驗證。

預期效果