分子泵作為高/超高真空系統(tǒng)的設(shè)備，其穩(wěn)定運行直接影響工藝質(zhì)量。維修過程需遵循流程：

安全與診斷

*操作前務(wù)必斷電，佩戴防靜電手環(huán)

*通過真空計讀數(shù)異常（如抽速驟降、極限壓力升高）和異常噪音（高頻嘯叫/機械摩擦聲）初步判斷故障點

部件檢修

1.軸承系統(tǒng)：拆卸后檢測軸承游隙（標(biāo)準(zhǔn)值0.02-0.05mm），更換潤滑脂（建議使用Krytox240AC）

2.葉輪組件：使用激光測距儀檢測葉輪間隙（要求0.1-0.3mm），動平衡校驗（殘余不平衡量<0.5g·mm）

3.電機繞組：兆歐表檢測絕緣電阻（≥100MΩ），三相直流電阻偏差≤2%

4.密封系統(tǒng)：更換磁流體密封（真空側(cè)漏率需≤1×10??Pa·m3/s）

組裝與測試

采用分階段抽真空法：先預(yù)抽至1Pa，運行2小時后逐步降至10??Pa。測試中監(jiān)控：

*啟動電流（正常為額定值120%-150%）

*振動加速度（應(yīng)＜2.5mm/s）

*溫升曲線（軸承溫度≤65℃）

維修提示

*使用無紡布蘸取分析純級異清潔腔體

*葉輪組裝需在百級潔凈臺操作

*磁軸承系統(tǒng)校準(zhǔn)需工裝（偏移量控制±0.01mm）

經(jīng)規(guī)范維修的分子泵，其極限真空應(yīng)恢復(fù)至5×10??Pa以上，抽速達標(biāo)稱值90%以上，確保設(shè)備重返高精度制造場景。