氦氣檢漏技術(shù)是現(xiàn)代工業(yè)中檢測微小氣體泄漏的關(guān)鍵方法，其設(shè)備是氦氣檢漏儀（通常指氦質(zhì)譜檢漏儀）。該技術(shù)因其極高的靈敏度和準(zhǔn)確性，在要求嚴(yán)格密封性的領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

原理

氦氣檢漏儀的部件是質(zhì)譜儀。當(dāng)被檢件（如容器、管道、真空系統(tǒng)）連接至檢漏儀并抽真空后，在疑似泄漏點(diǎn)外部噴吹或包裹氦氣（氦氣作為示蹤氣體）。如果存在泄漏，氦氣分子會通過漏孔進(jìn)入被檢件內(nèi)部，并隨氣流進(jìn)入質(zhì)譜儀。質(zhì)譜儀能識別并測量氦分子離子的數(shù)量（電流信號），信號強(qiáng)度直接反映泄漏量的大小和位置。氦氣分子量小、擴(kuò)散快、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、自然環(huán)境中含量極低，這些特性使其成為理想的示蹤氣體，避免了背景干擾。

典型的氦氣檢漏操作包括：被檢件準(zhǔn)備與連接、系統(tǒng)抽真空、氦氣噴吹或累積、質(zhì)譜儀檢測與信號分析、泄漏點(diǎn)定位與標(biāo)記、泄漏率計算等步驟。操作需規(guī)范，環(huán)境氦氣背景值需低，以確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。

總之，氦氣檢漏儀技術(shù)是現(xiàn)代精密制造和質(zhì)量控制中不可或缺的檢測手段，為保障設(shè)備安全運(yùn)行、提升產(chǎn)品質(zhì)量提供了強(qiáng)有力的技術(shù)支持。