

分子泵是一種利用高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片(轉(zhuǎn)子)將氣體分子“擊打”向特定方向(通常是向下游排氣口)來實(shí)現(xiàn)抽真空的泵。它通常需要與前級(jí)泵(如旋片泵或干泵)串聯(lián)使用,共同將系統(tǒng)壓力從低真空抽至高真空甚至超高真空范圍(通常<10^-3Pa至<10^-7Pa)。
價(jià)格范圍概覽(全新泵)
*小型分子泵(抽速<100L/s):入門級(jí)或小型系統(tǒng)用。國產(chǎn)泵價(jià)格可能在3萬-8萬元左右。進(jìn)口品牌通常在8萬-20萬元甚至更高。
*中型分子泵(抽速100-500L/s):應(yīng)用廣泛的類型。國產(chǎn)泵價(jià)格范圍大致在8萬-25萬元。進(jìn)口品牌主流型號(hào)通常在20萬-50萬元區(qū)間。
*大型分子泵(抽速>500L/s):用于大型真空腔體或要求極高抽速的應(yīng)用。國產(chǎn)泵可能在25萬-60萬元以上。進(jìn)口品牌則很容易達(dá)到50萬-150萬元甚至更高,特別是帶磁懸浮軸承的大抽速型號(hào)。
*特殊/泵:如超高真空泵、耐腐蝕泵、無磁泵等,價(jià)格會(huì)顯著高于同抽速的普通泵。
總結(jié)與建議
高真空分子泵的價(jià)格區(qū)間非常寬泛,從幾萬元到上百萬元不等。選擇時(shí)務(wù)必明確自身應(yīng)用需求(抽速、極限真空、潔凈度、可靠性、特殊環(huán)境)和預(yù)算。
*明確需求:根據(jù)腔體體積、工藝氣體量、目標(biāo)真空度、潔凈度要求等確定所需抽速和性能。
*多方詢價(jià):向不同品牌(包括國內(nèi)外)的代理商或廠家咨詢具體型號(hào)的報(bào)價(jià)。
*考慮總擁有成本:除了購買價(jià)格,還要考慮維護(hù)成本(如軸承更換)、能耗、備件價(jià)格和保修政策。
*國產(chǎn)vs進(jìn)口:國產(chǎn)泵,在滿足需求的前提下是很好的選擇;進(jìn)口泵在技術(shù)、可靠性和服務(wù)支持上仍有優(yōu)勢。
終選擇需要在性能、可靠性、預(yù)算和服務(wù)之間找到平衡點(diǎn)。
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