復(fù)合分子泵作為高真空系統(tǒng)的設(shè)備，其穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要。常見故障及處理方式如下：

1.真空度異常

*現(xiàn)象：抽速下降，極限真空度無法達(dá)到。

*處理：

*檢查前級(jí)真空是否達(dá)標(biāo)（通常需≤10Pa），確保前級(jí)泵工作正常；

*排查系統(tǒng)泄漏：使用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)法蘭密封圈、焊縫等關(guān)鍵部位；

*清潔泵體：若存在油蒸氣污染，需拆卸清洗轉(zhuǎn)子及泵腔（使用無殘留溶劑）；

*檢查電源頻率穩(wěn)定性，確保電機(jī)轉(zhuǎn)速符合設(shè)計(jì)值。

2.異常振動(dòng)與噪聲

*現(xiàn)象：運(yùn)行中出現(xiàn)機(jī)械碰撞聲或高頻嘯叫。

*處理：

*立即停機(jī)，檢查轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡：軸承磨損或葉片變形需校正；

*排查安裝底座：確保泵體水平固定，消除外部振動(dòng)源；

*檢測(cè)冷卻系統(tǒng)：過熱可能導(dǎo)致部件膨脹摩擦，清理散熱通道。

3.電機(jī)過熱停轉(zhuǎn)

*現(xiàn)象：溫控保護(hù)頻繁觸發(fā)。

*處理：

*測(cè)量繞組電阻：線圈短路需更換電機(jī)定子；

*檢查軸承潤(rùn)滑：補(bǔ)充高溫潤(rùn)滑脂（如氟化脂）；

*驗(yàn)證散熱風(fēng)扇運(yùn)行狀態(tài)，清理風(fēng)道灰塵。

注意事項(xiàng)：

*任何拆卸操作前必須對(duì)系統(tǒng)充分放氣，防止油霧反擴(kuò)散；

*轉(zhuǎn)子組件裝配需工裝，建議返廠維修；

*定期更換前級(jí)泵油（建議5000小時(shí)），可有效延長(zhǎng)分子泵壽命。

>預(yù)防建議：建立運(yùn)行日志，記錄泵體溫度、電流值等參數(shù)變化趨勢(shì)，實(shí)現(xiàn)預(yù)測(cè)性維護(hù)。對(duì)于設(shè)備，建議配備振動(dòng)監(jiān)測(cè)儀實(shí)時(shí)預(yù)警。