復合分子泵的保養(yǎng)周期通常需根據(jù)使用頻率、工況環(huán)境及制造商建議綜合確定。以下為保養(yǎng)要點及周期參考：常規(guī)保養(yǎng)周期：復合分子泵的預(yù)防性保養(yǎng)間隔一般為 4000-8000小時運行時間（約6個月至1.5年）。若用于高負荷場景（如連續(xù)24小時運轉(zhuǎn)、處理腐蝕性氣體或粉塵），建議縮短至 3000-4000小時。部分工業(yè)型號（如半導體產(chǎn)線用泵）可能需每2000小時檢測密封性。保養(yǎng)項目：1. 軸承潤滑系統(tǒng) 高速陶瓷軸承需每3000-5000小時補充潤滑油（如PFPE全氟聚醚），同時清理舊油脂殘留。磁懸浮軸承需檢查電磁線圈損耗及散熱效率。2. 轉(zhuǎn)子與定子清潔 針對沉積物（如聚合物殘留或金屬顆粒），建議每5000小時使用超聲波清洗葉輪組，并用乙醇擦拭流道，防止動平衡失調(diào)。3. 密封件更換 金屬密封圈壽命約2-3年，氟橡膠密封件在高溫工況下需每年更換。真空側(cè)密封需配合氦質(zhì)譜儀檢測漏率，漏率超過1×10?? Pa·m3/s時立即處理。4. 冷卻系統(tǒng)維護 水冷泵需每月檢查管路水垢，每半年更換去離子水；風冷型應(yīng)清理散熱鰭片積塵，確保溫升不超過45℃。特殊工況調(diào)整：- 若長期抽除腐蝕性氣體（如Cl?、O?），建議加裝分子篩過濾器并每季度檢查泵腔腐蝕情況。- 真空（