Alcatel分子泵保養(yǎng)拆解操作指南（精簡(jiǎn)版）一、準(zhǔn)備工作1. 確認(rèn)設(shè)備已斷電，真空腔體完全泄壓至常壓2. 準(zhǔn)備工具：六角扳手套組、無(wú)塵手套、防靜電腕帶3. 清潔環(huán)境：建議在百級(jí)潔凈工作臺(tái)操作二、標(biāo)準(zhǔn)拆解流程1. 拆解外殼：使用T15星型螺絲刀卸下防護(hù)罩固定螺絲2. 轉(zhuǎn)子分離：- 標(biāo)記轉(zhuǎn)子與定子的相位對(duì)應(yīng)位置- 用拉拔器平穩(wěn)卸下轉(zhuǎn)子組件（軸向拉力＜50N）3. 軸承維護(hù)：- 檢查陶瓷軸承表面磨損（允許劃痕深度≤0.02mm）- 使用異超聲清洗（40kHz/30min）4. 潤(rùn)滑系統(tǒng)處理：- 清理舊潤(rùn)滑脂- 補(bǔ)充潤(rùn)滑劑量0.5±0.05ml三、關(guān)鍵注意事項(xiàng)1. 禁止直接接觸轉(zhuǎn)子葉片（表面粗糙度要求Ra≤0.1μm）2. 安裝時(shí)需保證轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡偏差＜1g·mm3. 密封圈必須更換原廠配件（氟橡膠材質(zhì)）四、裝配后檢測(cè)1. 低速試運(yùn)行（2000rpm）檢測(cè)振動(dòng)值（應(yīng)＜0.5mm/s）2. 真空度測(cè)試：10^-5mbar基準(zhǔn)下，抽速衰減應(yīng)＜5%建議每3000工作小時(shí)或半年執(zhí)行預(yù)防性保養(yǎng)，復(fù)雜拆解需聯(lián)系授權(quán)服務(wù)商。操作人員應(yīng)持有真空設(shè)備維修資質(zhì)認(rèn)證。