?氦氣檢漏儀（氦質(zhì)譜檢漏儀）的維修主要包括機械泵故障處理、分子泵故障處理以及質(zhì)譜室故障處理等幾個方面?。?機械泵故障處理?：機械泵無法啟動：檢查電源電壓是否正常，開關(guān)是否打開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱（泵冷卻后是否能啟動）?。機械泵聲音異常：檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變質(zhì)，油溫是否過高，以及油霧過濾器的出口是否有氣體排出（如無氣體排出，需更換油霧過濾器）?。?分子泵故障處理?：TMP顯示為0（分子泵沒有工作）：可能是前級壓力過高（分子泵啟動壓力通常為200Pa）導(dǎo)致分子泵無法啟動，需檢查真空規(guī)管、分子泵出口、機械泵油及機械泵旋轉(zhuǎn)情況；也可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子損壞，需用工具撥動葉片檢查是否能轉(zhuǎn)動；還可能是電路板上的保險絲燒斷或電路板設(shè)置開關(guān)處于錯誤位置，需更換保險絲或檢查短路現(xiàn)象，并將電路板設(shè)置開關(guān)置于正確位置?。分子泵加速指示燈不亮：更換保險絲或檢查是否有短路現(xiàn)象?2。分子泵故障燈亮：檢查電路板設(shè)置開關(guān)位置是否正確，以及風(fēng)扇是否正常運行，如風(fēng)扇正常則可能為分子泵電源故障?。?質(zhì)譜室故障處理?：燈絲無法正常啟動：在確認(rèn)機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源；若燈絲指示燈閃爍，需檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，以及接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通?