分子泵故障處理是一個(gè)復(fù)雜且細(xì)致的過程，涉及多個(gè)方面的檢查和維修。以下是一些常見的分子泵的故障及其處理方法：故障一：速度太低;解決方法：檢查電機(jī)的接線是否正確，電壓是否正?；蛘咄钙降恼羝麎毫κ欠裾?。故障二：吸程太高;解決方法：檢查現(xiàn)有的凈壓頭(入口管線太小或太長會(huì)造成很大的磨擦損失)。故障三：系統(tǒng)水頭太高;解決方法：檢查系統(tǒng)的水頭(特別是磨擦損失)。故障四：葉輪或管線受堵;解決方法：檢查有無障礙物。故障五：真空泵沒有注水或沒有適當(dāng)排氣;解決方法：檢查真空泵殼和入口管線是否全部注滿了液體。故障六：產(chǎn)生空氣或入口管線有泄漏;解決方法：檢查入口管線有無氣穴和/或空氣泄漏。