Leybold分子泵設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，體積輕巧，單段油回旋旋片式真空泵；萊寶單級(jí)旋片真空泵，高真空度極限壓力0.08mbar，功率4kw 全文

但由于牽引分子泵抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機(jī)械故障，而且制造困難，實(shí)際上很少應(yīng)用。后來(lái)對(duì)牽引分子泵進(jìn)行了改進(jìn)，出現(xiàn)了渦輪分子泵。 全文

真空泵維修是一項(xiàng)要求嚴(yán)格、條件苛刻的精密的技術(shù)，對(duì)于環(huán)境的要求和工具的要求較多，所以一般正規(guī)的真空泵維修都是取泵維修。 全文

操作簡(jiǎn)單方便使用 Edwards真空分子泵控制系統(tǒng)抽氣口及氣路連接口使用快速連接結(jié)構(gòu)，使安裝過(guò)程變得簡(jiǎn)單方便，只需用卡箍即可實(shí)現(xiàn)安裝。 全文