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氮氣(N2)：相對分子質量較大、擴散系數小、柱效相對較高、安全、價格便宜，因此，這4種氣體中常用的載氣，在氫火焰離子化檢測器中常用，但由于其熱導系數低、靈敏度差、定量線性范圍較窄，因此在熱導檢測器中少用。高純氧氣
純度是高純氧氣的一個重要技術參數，按氮氣的純度分為工業(yè)用氮氣、純氮和高純氮三級，它們的純度分別為99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。純氮N2≥99.99化工、治金、電子工業(yè)高純氮N2≥99.999科研、電子、機械行業(yè)、色譜儀載氣所以用于制冷劑的話，沒什么區(qū)別。
裝運高純氧氣的鋼瓶和槽車，必須符合國家制訂的《危險貨物運輸規(guī)則》。液氨鋼瓶應存放于庫房或有棚的平臺上；露天存放時，應以帳篷遮蓋，防止陽光直射。

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高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積；作為氧化源與產生高純水的反應劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質；在冶金工業(yè)中有廣泛應用。高純氬氣全文
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高純甲烷：甲烷純度99.999%,氧（氬）含量1ppm,氮含量5ppm,其他總碳含量1ppm,水分含量1ppm。純甲烷：符合標準HG/T 3633-1999，甲烷純度99.99%,,氧（氬）含量10.. 全文
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