真空度很好的情況下，愛德華分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池 全文

正常使用下，為什么Edwards真空分子泵油池會(huì)出現(xiàn)裂紋或者變形 原因：過熱，負(fù)載大 解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng) 全文

分子泵關(guān)機(jī)維修方法一、關(guān)機(jī)操作流程1. 停止運(yùn)行前準(zhǔn)備： - 關(guān)閉真空系統(tǒng)前端閥門，隔離分子泵與真空腔體，防止氣體倒流污染泵體。 - 若分子泵為水冷或風(fēng)冷系統(tǒng)，需保持冷卻系統(tǒng)運(yùn)行10-.. 全文

Edwards真空分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問該現(xiàn)象如何解釋？ 原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不.. 全文