ULVAC真空泵維修保養(yǎng)拆解操作指南一、準(zhǔn)備工作1. 安全防護(hù)：佩戴防油手套、護(hù)目鏡及防靜電手環(huán)，準(zhǔn)備工具套裝2. 系統(tǒng)泄壓：切斷電源后，保持泵體自然冷卻至常溫（約需4-6小時(shí)）3. 油路處理：使用接.. 全文

高真空分子泵的工作原理主要基于氣體分子的動(dòng)量傳遞，其詳細(xì)過(guò)程如下： 分子泵的部件是高速旋轉(zhuǎn)的葉片（轉(zhuǎn)子），這些葉片與定子之間形成微小的間隙。當(dāng)轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速達(dá)到每分鐘數(shù)萬(wàn)轉(zhuǎn)的級(jí)別.. 全文

Edwards真空分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏 全文

愛(ài)德華分子泵維修每次停機(jī)后，必須清洗每個(gè)分子泵的入口，以保持其清潔，以避免不必要的損壞。 全文