ULVAC真空泵維修保養(yǎng)拆解操作指南一、準(zhǔn)備工作1. 安全防護(hù)：佩戴防油手套、護(hù)目鏡及防靜電手環(huán)，準(zhǔn)備工具套裝2. 系統(tǒng)泄壓：切斷電源后，保持泵體自然冷卻至常溫（約需4-6小時）3. 油路處理：使用接.. 全文

真空度很好的情況下，愛德華分子泵油為何會返到前級管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池 全文

磁懸浮分子泵升級改造：邁向、可靠真空新紀(jì)元在半導(dǎo)體制造、精密鍍膜、科研等對真空環(huán)境要求嚴(yán)苛的領(lǐng)域，傳統(tǒng)分子泵的機(jī)械磨損、振動噪聲和維護(hù)成本正日益成為制約發(fā)展的瓶頸。磁懸浮分子泵的升級改造，正是針對這.. 全文

分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作，在分子流范圍內(nèi)，氣體分子的平均自l由程長度遠(yuǎn)大于分子泵葉片之間的間距，而氣體分子的平均自a由程長度會隨著容器壓力下降而增加，因此分子泵如果直接抽取大氣，反而無法顯示出它的.. 全文