ULVAC真空泵維修保養(yǎng)指南 ULVAC真空泵作為精密設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、電子鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。為確保設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行并延長(zhǎng)使用壽命，規(guī)范的維修保養(yǎng)至關(guān)重要。 .. 全文

Leybold分子泵低噪音，低振動(dòng)。結(jié)構(gòu)緊湊，體型小，節(jié)省空間。在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。 全文

泵溫太高的原因可以是泵環(huán)境溫度太高，進(jìn)氣溫度太高，進(jìn)氣冷卻裝置失效，泵長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)入中壓力太高；水冷泵冷卻水量不足，循環(huán)水設(shè)計(jì)效果不佳；溫控水量調(diào)節(jié)閥失效等。 全文

當(dāng)Edwards真空分子泵出現(xiàn)故障無(wú)法使用時(shí)，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動(dòng)充滿空氣后更換備用分子泵。 全文