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哪位知道Edwards二手分子泵維修有哪些是需要注意的？
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  • 當(dāng)Edwards二手分子泵出現(xiàn)故障無法使用時，應(yīng)暫停生產(chǎn)，并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
  • Edwards二手分子泵不能在大氣中打開，必須在達(dá)到10Pa時打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動分子泵
  • Edwards二手分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏
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