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高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。高純氬氣
氦氣密度比空氣小，能夠一直懸浮于空中。2、相比于活潑易燒燃的氫氣，氦氣屬于惰性氣體，常溫下穩(wěn)定，幾乎不與任何物體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，保證安全。3、制備成本較低。高純氬氣
純度是高純氬氣的一個(gè)重要技術(shù)參數(shù)，按氮?dú)獾募兌确譃楣I(yè)用氮?dú)狻⒓兊透呒兊?jí)，它們的純度分別為99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。純氮N2≥99.99化工、治金、電子工業(yè)高純氮N2≥99.999科研、電子、機(jī)械行業(yè)、色譜儀載氣所以用于制冷劑的話，沒什么區(qū)別。

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