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高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積;作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑;干法氧化;與四氟化碳混合,用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì);在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。高純氙氣 全文
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高純甲烷:甲烷純度99.999%,氧(氬)含量1ppm,氮含量5ppm,其他總碳含量1ppm,水分含量1ppm。 純甲烷:符合標(biāo)準(zhǔn)HG/T 3633-1999,甲烷純度99.99%,,氧(氬)含量10.. 全文
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