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高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。超高純氦氣
裝運(yùn)超高純氦氣的鋼瓶和槽車，必須符合國(guó)家制訂的《危險(xiǎn)貨物運(yùn)輸規(guī)則》。液氨鋼瓶應(yīng)存放于庫(kù)房或有棚的平臺(tái)上；露天存放時(shí)，應(yīng)以帳篷遮蓋，防止陽(yáng)光直射。
純度是超高純氦氣的一個(gè)重要技術(shù)參數(shù)，按氮?dú)獾募兌确譃楣I(yè)用氮?dú)?、純氮和高純氮三?jí)，它們的純度分別為99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。純氮N2≥99.99化工、治金、電子工業(yè)高純氮N2≥99.999科研、電子、機(jī)械行業(yè)、色譜儀載氣所以用于制冷劑的話，沒(méi)什么區(qū)別。

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高純甲烷：甲烷純度99.999%,氧（氬）含量1ppm,氮含量5ppm,其他總碳含量1ppm,水分含量1ppm。純甲烷：符合標(biāo)準(zhǔn)HG/T 3633-1999，甲烷純度99.99%,,氧（氬）含量10.. 全文
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對(duì)于需要長(zhǎng)期采購(gòu)高純氨氣的使用單位,必須找可以長(zhǎng)期庫(kù)存供貨的氣體公司合作。全文
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