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高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應用。氦氣 全文
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