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高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。高純氮?dú)?nbsp;全文
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氮?dú)饧兓椒ㄖ饕形椒ā⒆儔何椒?、膜分離法等。在生產(chǎn)中，通常采用黑色鋼瓶盛放氮?dú)狻３呒兒?nbsp;全文
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純度是高純氦氣的一個重要技術(shù)參數(shù)，按氮?dú)獾募兌确譃楣I(yè)用氮?dú)?、純氮和高純氮三級，它們的純度分別為99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。純.. 全文
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