排除方法：1.低于150攝氏度長(zhǎng)時(shí)間烘烤去氣2.冷卻水溫應(yīng)低于14攝氏度，運(yùn)轉(zhuǎn)中保證冷卻系統(tǒng)正常工作 全文

真空度很好的情況下，Edwards進(jìn)口分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池 全文

Edwards進(jìn)口分子泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復(fù)到正常，反反復(fù)復(fù)，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請(qǐng)問(wèn)該現(xiàn)象如何解釋？ 原因：負(fù)載太大，系統(tǒng)真空度不.. 全文

分子泵控制器過(guò)流保護(hù)是確保分子泵安全運(yùn)行的重要機(jī)制。以下是對(duì)其的簡(jiǎn)要介紹： 一、定義與功能 當(dāng)通過(guò)分子泵的電流超過(guò)預(yù)設(shè)的安全值時(shí)，為了保護(hù)設(shè)備免受損壞并確保正常運(yùn)行而采取的保護(hù)措施稱為.. 全文