集成分子泵維修時(shí)的注意事項(xiàng)主要包括以下幾點(diǎn)：1.安全措施要到位。在進(jìn)行任何維修保養(yǎng)操作前，務(wù)必切斷分子泵的電源并等待其冷卻至室溫；在拆卸或檢查部件時(shí)避免直接接觸高溫、高壓區(qū)域及尖銳物體等潛在危險(xiǎn)源以防.. 全文

Edwards二手分子泵不能在大氣中打開(kāi)，必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開(kāi)。 打開(kāi)相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵 全文

操作簡(jiǎn)單方便使用 Edwards真空分子泵控制系統(tǒng)抽氣口及氣路連接口使用快速連接結(jié)構(gòu)，使安裝過(guò)程變得簡(jiǎn)單方便，只需用卡箍即可實(shí)現(xiàn)安裝。 全文

Edwards真空分子泵維修低振動(dòng)：磁懸浮意味著無(wú)摩擦，因此振動(dòng)很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而化。 全文