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高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。高純氙氣
純度是高純氙氣的一個(gè)重要技術(shù)參數(shù)，按氮?dú)獾募兌确譃楣I(yè)用氮?dú)狻⒓兊透呒兊?jí)，它們的純度分別為99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。純氮N2≥99.99化工、治金、電子工業(yè)高純氮N2≥99.999科研、電子、機(jī)械行業(yè)、色譜儀載氣所以用于制冷劑的話，沒什么區(qū)別。
氮?dú)?N2)：相對(duì)分子質(zhì)量較大、擴(kuò)散系數(shù)小、柱效相對(duì)較高、安全、價(jià)格便宜，因此，這4種氣體中常用的載氣，在氫火焰離子化檢測(cè)器中常用，但由于其熱導(dǎo)系數(shù)低、靈敏度差、定量線性范圍較窄，因此在熱導(dǎo)檢測(cè)器中少用。高純氙氣

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保護(hù)氣：利用氦氣不活潑的化學(xué)性質(zhì)，氦氣常用于鎂、鋯、鋁、鈦等金屬焊接的保護(hù)氣。其他方面：氦氣可用作高真空裝置、原子核反應(yīng)堆[5] 在火箭、宇宙飛船上用作輸送液氫、液氧等液體推進(jìn)劑的加壓氣體。氦氣還用作.. 全文
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氦氣密度比空氣小，能夠一直懸浮于空中。2、相比于活潑易燒燃的氫氣，氦氣屬于惰性氣體，常溫下穩(wěn)定，幾乎不與任何物體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，保證安全。3、制備成本較低。高純氬氣全文

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