當Edwards真空分子泵維修未啟動時，檢查前級泵和電磁閥是否正常工作。當分子泵發(fā)生故障時，必須根據(jù)故障提示進行處理。 全文

渦輪分子泵是高或超高真空系統(tǒng)中常用的抽氣設備，其故障維修方法主要包括以下幾個方面：1.氣體泄漏處理當發(fā)現(xiàn)泵的極限真空度低時可能是由于系統(tǒng)漏氣引起的。此時應使用檢漏儀器查找并確定具體的泄位置對法蘭連接處.. 全文

愛德華分子泵控制器在運轉過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復到正常，反反復復，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請問該現(xiàn)象如何解釋？ 原因：負載太大，系統(tǒng)真空度不夠 解.. 全文

一般情況下，真空泵工作2000小時后應進行檢修，檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內的零件，如轉子、旋片、彈簧等。一般用*油清洗，并烘干。.. 全文