高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。高純氧氣 全文

高純甲烷：甲烷純度99.999%,氧（氬）含量1ppm,氮含量5ppm,其他總碳含量1ppm,水分含量1ppm。 純甲烷：符合標(biāo)準(zhǔn)HG/T 3633-1999，甲烷純度99.99%,,氧（氬）含量10.. 全文

標(biāo)樣采用稱(chēng)量法配制，并用靜態(tài)體積法比對(duì)，其誤差來(lái)源與天平的準(zhǔn)確度、砝碼的級(jí)差、砝碼和鋼瓶的浮力以及稀釋氣的純度有關(guān)，標(biāo)樣采用三次稀釋法配制，并且根據(jù)稀釋氣的純度進(jìn)行了修正，經(jīng)過(guò)計(jì)算，標(biāo)樣的制備誤差不大.. 全文

與傳統(tǒng)的空氣測(cè)驗(yàn)辦法比較，氦氣檢測(cè)辦法具有許多優(yōu)越性。首先，空氣檢測(cè)法對(duì)溫度十分敏感，熱部件或待冷卻部件都會(huì)造成質(zhì)量流量不準(zhǔn)確或無(wú)法重復(fù)測(cè)驗(yàn)；其次，待測(cè)量產(chǎn)品體積對(duì)示蹤氣體檢漏測(cè)驗(yàn)毫無(wú)影響，但體積大會(huì).. 全文