純度是高純氦氣的一個(gè)重要技術(shù)參數(shù)，按氮?dú)獾募兌确譃楣I(yè)用氮?dú)?、純氮和高純氮三?jí)，它們的純度分別為99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。純.. 全文

高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。液態(tài)二氧化碳 全文

氮?dú)?N2)：相對(duì)分子質(zhì)量較大、擴(kuò)散系數(shù)小、柱效相對(duì)較高、安全、價(jià)格便宜，因此，這4種氣體中常用的載氣，在氫火焰離子化檢測器中常用，但由于其熱導(dǎo)系數(shù)低、靈敏度差、定量線性范圍較窄，因此在熱導(dǎo)檢測器中少.. 全文

高純甲烷：甲烷純度99.999%,氧（氬）含量1ppm,氮含量5ppm,其他總碳含量1ppm,水分含量1ppm。 純甲烷：符合標(biāo)準(zhǔn)HG/T 3633-1999，甲烷純度99.99%,,氧（氬）含量10.. 全文