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氮?dú)?N2)：相對分子質(zhì)量較大、擴(kuò)散系數(shù)小、柱效相對較高、安全、價格便宜，因此，這4種氣體中常用的載氣，在氫火焰離子化檢測器中常用，但由于其熱導(dǎo)系數(shù)低、靈敏度差、定量線性范圍較窄，因此在熱導(dǎo)檢測器中少.. 全文
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高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。超高純氦氣 全文
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純度是高純氮?dú)獾囊粋€重要技術(shù)參數(shù)，按氮?dú)獾募兌确譃楣I(yè)用氮?dú)?、純氮和高純氮三級，它們的純度分別為99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。純.. 全文
