高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。氦氣 全文

超純氬氣是一種惰性氣體，在常溫下與其它物質(zhì)均不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，在高溫下也不溶于液態(tài)金屬中，故在焊接有色金屬時(shí)更能顯示其優(yōu)越性，超純氬氣是一種單原子氣體，在高溫下，超純氬氣直接離解為正離子和電子，因此能量.. 全文

氦氣密度比空氣小，能夠一直懸浮于空中。2、相比于活潑易燒燃的氫氣，氦氣屬于惰性氣體，常溫下穩(wěn)定，幾乎不與任何物體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，保證安全。3、制備成本較低。液態(tài)二氧化碳 全文

氮?dú)?N2)：相對(duì)分子質(zhì)量較大、擴(kuò)散系數(shù)小、柱效相對(duì)較高、安全、價(jià)格便宜，因此，這4種氣體中常用的載氣，在氫火焰離子化檢測(cè)器中常用，但由于其熱導(dǎo)系數(shù)低、靈敏度差、定量線性范圍較窄，因此在熱導(dǎo)檢測(cè)器中少.. 全文