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高純氧用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積;作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑;干法氧化;與四氟化碳混合,用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì);在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。超高純氦氣 全文
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氦氣密度比空氣小,能夠一直懸浮于空中。2、相比于活潑易燒燃的氫氣,氦氣屬于惰性氣體,常溫下穩(wěn)定,幾乎不與任何物體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),保證安全。3、制備成本較低。氦氣 全文
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