Leybold分子泵SOGEVAC系列SV200單級旋片真空泵，工作原理是滑片泵，高真空度，是廢氣收集真空泵選擇之一。 全文

渦輪分子泵過熱維修方法渦輪分子泵過熱是常見故障，可能由散熱不良、潤滑異?；驒C械磨損引起，需按以下步驟排查處理：1. 檢查散熱系統(tǒng)- 清潔散熱片與風(fēng)扇：積塵會導(dǎo)致散熱效率下降，使用壓縮空氣或軟毛刷清理散.. 全文

渦輪分子泵拆解操作指南一、安全準(zhǔn)備1. 切斷電源并靜置24小時以上，確保泵體完全泄壓2. 佩戴防靜電手環(huán)、護目鏡及防塵口罩3. 準(zhǔn)備工具：陶瓷扳手、無塵布、高真空潤滑脂、氮氣吹掃裝置二、拆解流程（1）.. 全文

極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真空泵有各種擴散泵及分子泵等。 全文