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  • 真空度很好的情況下,分子泵油為何會返到前級管道?原因:油池破裂或密封不良。解決方法:檢查油池。
  • 分子泵無法直接將氣體壓縮到常壓,即無法直接對大氣排氣?;诜肿颖玫墓ぷ髟恚陂_啟分子泵前必須配置一臺輔助前級泵。
  • 分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作,在分子流范圍內(nèi),氣體分子的平均自l由程長度遠大于分子泵葉片之間的間距,而氣體分子的平均自a由程長度會隨著容器壓力下降而增加,因此分子泵如果直接抽取大氣,反而無法顯示出它的優(yōu)越性。
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